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大功率紫外線燈在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用


在半導(dǎo)體制造行業(yè),大功率紫外線燈用于晶圓表面微粒檢測。晶圓的切割、清洗會對晶圓表面造成污染,而用大功率紫外線燈輻射能夠發(fā)現(xiàn)污染點,這對于提高晶圓良品率至關(guān)重要。

作為多年來從事紫外線燈研發(fā)、設(shè)計、制造的深圳紫外線燈品牌TANK007就跟大家伙來聊聊被稱為集合幾乎人類所有理工學(xué)科的智慧的半導(dǎo)體行業(yè)為何需要使用大功率紫外線燈。

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目前應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的大功率紫外燈分為便攜式紫外線燈和固定式紫外線燈。

其中,便攜式大功率紫外線燈如大功率紫外線手電筒可用于便攜式操作,常見的如檢查設(shè)備表面塵埃。

而固定式大功率紫外線燈可檢查晶圓表面質(zhì)量和微粒檢查。例如臺積電、中芯國際和上海微電子等半導(dǎo)體企業(yè)都有涉及到大功率紫外線燈。


大功率紫外線燈用于檢查半導(dǎo)體潔凈室

1、半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)部為了保持干凈,通常潔凈室內(nèi)氣壓高于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓才能確保粉塵只出不進。

另外通過安裝大型鼓風(fēng)機,把過濾的清潔空氣輸入到潔凈室中,為了保證溫濕度空調(diào)系統(tǒng)也是必須的安裝的。至于日常檢查是否有塵埃落入可借助大功率紫外線燈來檢查。

3、為了最大程度減少塵埃在潔凈室滯留,潔凈室所有氣流方向均由上往下為主。

4、進入潔凈室內(nèi)的物料盡量選用不易產(chǎn)生靜電的材料,以減少對灰塵的吸附。

5、進出潔凈室內(nèi)的工作人員,嚴(yán)格按照空氣吹浴 (air shower) 程序,除去自身表面粉塵。

6、為確保人體及衣物的毛屑,進出潔凈室/無塵室的工作人員需穿戴無塵衣,杜絕與外界隔絕接觸 

總之,晶圓的制造環(huán)境潔凈度將直接影響著晶圓的良品率,晶圓制造企業(yè)必須要有配套無塵生產(chǎn)環(huán)境才能確保晶圓的質(zhì)量。

TANK007探客手電是專業(yè)的紫外線燈研發(fā)、生產(chǎn)、銷售廠家,紫外線燈行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè),并成為多家世界500強企業(yè)長期合作伙伴,值得信賴!

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