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UV紫外線與光刻機(jī)的關(guān)系:光刻機(jī)為什么要用到紫外線

光刻機(jī)是目前半導(dǎo)體芯片行業(yè)的核心設(shè)備,其技術(shù)含量、價(jià)值含量極高。光刻機(jī)設(shè)備涉及到系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)是半導(dǎo)體行業(yè)中技術(shù)含量最高的設(shè)備。

目前,世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)。

有些朋友會(huì)問,UV紫外線與光刻機(jī)到底是什么關(guān)系,在芯片制造中為何要要用到紫外線?下面由紫外線手電筒制造廠家TANK007為你介紹。

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1、半導(dǎo)體芯片光刻工藝原理

光刻的原理是在已經(jīng)切割好的晶圓(通常是多晶硅)上覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,再用光線(一般是紫外光、深紫外光、極紫外光)透過掩模照射在晶圓表面,被紫外線照射到的光刻膠會(huì)發(fā)生反應(yīng)。

此后用特定溶劑洗去被照射/未被照射的光刻膠,就實(shí)現(xiàn)了電路圖從掩模到晶片的轉(zhuǎn)移。

簡單來說,就用紫外線把多層電路圖雕刻在晶圓上,而在這過程中就必然要用到光刻機(jī)。目前滿足先進(jìn)制程的7nm/5nm的光刻機(jī)采用EUV光刻工藝,而只有ASML制造的光刻機(jī)才可滿足。


2、UV紫外線與光刻機(jī)

前面我們提到,紫外線負(fù)責(zé)把線路圖雕刻到晶圓表面,而紫外線光源是由激光器負(fù)責(zé)產(chǎn)生,紫外線光源對芯片制程工藝具有決定性影響。

伴隨半導(dǎo)體工業(yè)節(jié)點(diǎn)的不斷提升,光刻機(jī)使用的紫外線波長從436nm、365nm的近紫外(NUV)激光提高到246nm、193nm(DUV)激光,DUV光刻機(jī)是目前大量應(yīng)用的光刻機(jī),波長是193nm,光源是ArF(氟化氬)準(zhǔn)分子激光器。

從7nm開始Intel、三星和臺(tái)積電等晶圓代工企業(yè)開始引入EUV光刻技術(shù),而使用極紫外光(EUV)作為光源的光刻機(jī)就是EUV光刻機(jī)。

你可以這么理解,全球最大的晶圓代工廠臺(tái)積電也只有從ASML購買EUV光刻機(jī)才能在7nm/5nm制程工藝上完成晶圓的雕刻。

要想知道EUV到底是什么東西,簡單來說EUV是UV紫外線中波段處于(10nm~100nm)的短波紫外線

本質(zhì)上,EUV極紫外光跟UV紫外線和光刻機(jī)的關(guān)系是一致的。從7nm開始Intel、三星和臺(tái)積電等晶圓代工企業(yè)開始引入EUV(波長10 ~ 15 nm,通常為13.5nm)光刻技術(shù),而使用極紫外光(EUV)作為光源的光刻機(jī)就是EUV光刻機(jī)。

你可以這么理解,如果沒有EUV光刻機(jī)晶圓代工廠就無法生產(chǎn)先進(jìn)制程的芯片如7nm或5nm芯片。

TANK007探客手電集紫外線手電筒研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的手電筒廠家,專注于紫外線手電筒領(lǐng)域20余年,是紫外線手電筒行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè),并成為多家世界500強(qiáng)企業(yè)長期合作伙伴,值得信賴!

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